本論文在充分了解和研究了國(guó)內(nèi)外主流的幾款MOCVD 系統(tǒng)的前提下，總結(jié)出MOCVD 系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和運(yùn)行過(guò)程，提出了對(duì)MOCVD 氣路系統(tǒng)和加熱系統(tǒng)進(jìn)行控制的方法，全文主要從三個(gè)方面對(duì)MOCVD 系統(tǒng)進(jìn)行了研究：首先，對(duì)MOCVD 的原理、MOCVD 系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)以及MOCVD 系統(tǒng)的運(yùn)行過(guò)程進(jìn)行了詳細(xì)的研究，給出了本項(xiàng)目組設(shè)計(jì)的MOCVD 系統(tǒng)整體結(jié)構(gòu)，對(duì)系統(tǒng)的各組成部分和系統(tǒng)的運(yùn)行過(guò)程進(jìn)行了詳細(xì)的介紹。其次，針對(duì)MOCVD ..